锐星视觉

半导体检测的重要性

半导体制造对缺陷容忍度极低:
- 晶圆级:检测表面颗粒、划痕和图案缺陷,精度达±0.5μm
- 芯片级:识别微米级结构缺陷和污染,避免电路短路或断路

视觉检测系统通过高分辨率光学和智能算法,实现24小时不间断检测,显著提升芯片良品率。

半导体检测应用场景

晶圆切割检测

晶圆切割检测

检测切割后的晶圆边缘质量、切割道宽度和切割深度,确保芯片分离精度,避免切割损伤导致的芯片失效。

芯片封装检测

芯片封装检测

检测焊球缺失、引线偏移等封装缺陷,确保芯片与基板的可靠连接,避免因封装不良导致的性能失效。

半导体检测技术原理

半导体检测的核心技术:

  • 高分辨率光学系统:采用特殊设计的远心镜头,消除透视畸变,实现纳米级成像精度
  • 多光谱检测技术:通过不同波长光源,检测表面污染和材料特性差异
  • 3D轮廓测量:精确测量芯片结构的垂直尺寸,确保工艺一致性