半导体制造对缺陷容忍度极低:
- 晶圆级:检测表面颗粒、划痕和图案缺陷,精度达±0.5μm
- 芯片级:识别微米级结构缺陷和污染,避免电路短路或断路
视觉检测系统通过高分辨率光学和智能算法,实现24小时不间断检测,显著提升芯片良品率。
检测切割后的晶圆边缘质量、切割道宽度和切割深度,确保芯片分离精度,避免切割损伤导致的芯片失效。
检测焊球缺失、引线偏移等封装缺陷,确保芯片与基板的可靠连接,避免因封装不良导致的性能失效。
半导体检测的核心技术: